沉积气體(tǐ)

沉积气體(tǐ)

显示面板行业，CVD沉积制备氮化硅层和a-Si可(kě)以使用(yòng)硅烷气體(tǐ)。在LCD中，被用(yòng)来制作TFT保护层和绝缘层。

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