化學(xué)气相沉积气體(tǐ)用(yòng)来生成沉积薄膜。不同的沉积薄膜需要不同的電(diàn)子气體(tǐ)。
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刻蚀过程需要電(diàn)子气體(tǐ)与被刻蚀物(wù)发生化學(xué)反应。刻蚀气體(tǐ)与被刻蚀物(wù)发生化學(xué)反应，导致被刻蚀物(wù)消除。
离子注入气體(tǐ)是在作為(wèi)参杂气體(tǐ)注入到晶圆表面。
随着市场的发展，公司自主研发多(duō)种電(diàn)子混合气體(tǐ)，解决部分(fēn)“卡脖子”产品问题。
